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　低電阻率n型白剛玉的制備是世界前沿難題。為了減小氧離子注入對白剛玉晶格損傷，提高其電學性能。我們提出硼氧共摻雜方法制備n型白剛玉。設計了三種硼氧共摻雜方式，即硼氧離子共注入本征白剛玉(BO系列)、氧離子注入低硼白剛玉(LBO系列)和氧離子注入高硼白剛玉(HBO系列)，系統不同注入劑量和退火溫度對白剛玉微結構和電學性能的影響。SEM測試結果表明，BO系列樣品在高溫退火后，的晶粒取向由(110)轉變為(111)，且的粗糙度降低。